1     

Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT)

Title: Control of materials properties of large-area graphene by using plasma

  - 기간: 2010.10 - 2015.09

  - 비대칭성 금속/그래핀/금속 소자 광전류 특성 향상

  - TLM 을 이용한 그래핀-금속 접합의 전기적 특성 분석 시스템 구축

  - 그래핀-금속 접합간 interface 제어를 위한 2D interlayer 도입

  - 그래핀/전극 및 FET 구조 변경을 통한 광파장대역 고속광통신 소자 구현

  - 그래핀-금속간 계면의 접합 특성 향상을 위한 buffer layer 물질 조사 및 선별

2

Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT)

Title: Control of contact resistance between graphene and metal by using plasma

  - 기간: 2012.02 - 2015.01

  - N₂, NH₃-ICP를 통한 2차원 소재의 도핑 특성 제어

  - TLM 을 이용한 그래핀-금속 접합의 전기적 특성 분석 시스템 구축

  - 플라즈마 처리 및 화학적 도핑을 이용한 2차원 소재의 구조 변화에 따른 일함수 조절

  - Hall measurement를 이용한 도핑 농도 분석 연구

  - Ar-ICP를 통한 2차원 소재의 금속 접촉특성 제어

  - ICP 표면 처리에 따른 2차원 소재의 전기적 특성 변화 연구

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National Research Foundation of Korea (NRF)

Title: Electronic transport of hetero-stack structured devices using 2-dimensional nano materials

  - 기간: 2011.05 - 2015.09

  - 플라즈마 처리를 통한 그래핀-금속 접착 특성 향상 연구

  - 플라즈마 처리를 통한 그래핀의 도핑 효과 연구

  - 플라즈마 처리를 통한 그래핀의 밴드갭 확장 연구

4

NCRC Human Interface Nano Technology (HINT)

Title: Development of Nano-Technology Based Human Interface Systems

  - 기간: 2011.05 - 2015.09

  - SIP 적용을 위한 Deep Via 플라즈마 에칭 공정 개발

  - 나노구조를 이용한 태양전지 효율 향상연구

  - 휴먼인터페이스 응용 입력 소자 개발